· SH系列抛光垫,原材料采用进口高性能原皮,本产品含有特殊硬质材料及纤维结构,能在研磨抛光期间达到最佳移除率以及平坦化效果,用于粗、中抛阶段的工艺需求。适用于硅晶圆、再生晶圆、各类Ⅲ-Ⅴ族或Ⅱ-Ⅵ族等晶圆,如蓝宝石、砷化镓、氮化铝与碳化硅等材质的抛光工艺。
- | 衡量价值 |
厚度(mm) | 1.39 |
密度(g/cm³) | 0.436 |
压缩的可能性(%) | 5.1 |
弹性(%) | 81.35 |
硬度(shore A) | 74.2 |
胶粘剂剥离强度 干/湿(kgf/ c㎡) | 0.6↑/0.45↑ |